Минский НИИ радиоматериалов Национальной академии наук Беларуси предлагает потребителям выполнение опытно-конструкторских и научно-исследовательских работ в области разработки различных чувствительных элементов и МЭМС-датчиков на основании соглашения об аутсорсинге и ищет партнеров для заключения производственного соглашения.

Минский НИИ радиоматериалов Национальной академии наук Беларуси располагает современной технологической и производственной базой по разработке и изготовлению различных чувствительных элементов и МЭМС-датчиков, выполняет опытно-конструкторские и научно-исследовательские работы.

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) – это миниатюрные устройства разнообразной конструкции и назначения, сочетающие в себе одновременно микромеханическую и электронную части.

МЭМС-технологии позволяют изготавливать датчики, обладающие:
* высокой надежностью и стойкостью к внешним воздействиям;
* малым разбросом параметров в пределах изделия;
* улучшенными характеристиками функционирования;
* высокой технологичностью и повторяемостью;
* высокой функциональностью;
* микроминиатюрностью.

При разработке и изготовлении чувствительных элементов - основы интеллектуальных датчиков - используются современные технологии микромеханики:
* глубокое анизотропное и изотропное химическое травление кремния;
* прецизионное травление кремния;
* сварка «кремний-стекло»;
* технология создания высоколегированных р+ слоёв с концентрацией 10²¹см^-3 как стоп-слоёв при создании мембран;
* технология соединения деталей МЭМС датчиков с помощью легкоплавкого стекла.

Институт также обладает технологией проведения процесса 2-х сторонней фотолитографии на пластинах Ø76 мм и Ø100 мм, включая проведение всех сопутствующих операций связанных с процессом, имеет возможность и опыт применения 2-х сторонней фотолитографии для создания топологии различного уровня сложности, при изготовлении 2-х сторонних печатных плат.

Области применения:
* системы горизонтирования и ориентации объектов в пространстве;
* системы контроля и защиты оборудования;
* системы промышленной автоматики;
* машиностроение и приборостроение.

Минский НИИ радиоматериалов предлагает партнерам:
* выполнение опытно-конструкторских и научно-исследовательских работ в области разработки различных чувствительных элементов и МЭМС-датчиков на основании соглашения об аутсорсинге;
* изготовление чувствительных элементов и МЭМС-датчиков в рамках производственного соглашения.

Ссылка на сайте Минского НИИ радиоматериалов.

Чувствительные элементы и МЭМС-датчики являются аналогом продуктов следующих компаний:
«Murata Manufacturing Co. Ltd» (Япония);
«Совтест АТЕ, ООО» (Российская Федерация);
«STMicroelectronics NV» (Швейцария);
«Bosch Sensortec GmbH» (Германия);
«Invensense, Inc.(TDK Corp)» (США).

Специализация института включает следующие основные направления:
* разработка и производство элементной базы и функциональных узлов СВЧ-техники (твердотельные СВЧ монолитно-интегральные схемы - малошумящие усилители и усилители мощности, защитные устройства, переключатели, аттенюаторы, преобразователи частоты; СВЧ-модули и др.);
* разработка и производство оптоэлектронных компонентов и модулей на их основе (фотодетекторы, светоизлучающие диоды, полупроводниковые лазеры, приемные и передающие оптические модули);
* производство материалов для полупроводникового производства - подложки арсенида галлия стандарта «epi-ready»;
* разработка сенсорной техники, модулей и систем (датчики угла наклона, давления, ускорения, электронный компас и др.);
* разработка и изготовление медицинской техники.

Научно-производственная база института включает в себя специальное технологическое и научно-исследовательское оборудование, предназначенное для разработки и выполнения полного цикла технологических операций изготовления СВЧ, оптоэлектронных компонентов, датчиков физических величин на основе микроэлектромеханических систем, оборудование для изготовления продукции медицинского назначения - датчиков «Глюкосен» и др. В частности оборудование позволяет выполнять операции резки полупроводниковых слитков соединений А3В5 (GaAs, InP, GaN и др.), шлифовки и полировки пластин, эпитаксиального наращивания, операции термодиффузии и имплантации легирующих примесей, операции корпусирования микросхем, контроля их параметров и т.д.

Институт имеет лицензионное программное обеспечение для электродинамических расчетов, собственную библиотеку стандартных элементов, методики контроля и испытаний СВЧ компонентов С, S, L, X, K диапазонов длин волн, оборудование электронной литографии с разрешением 100 нм, обеспечивающее современный уровень проектных норм.

В рамках специализации ведется разработка технологий, элементной базы и на ее основе приборов для различных радиоэлектронных систем: систем радиолокации, волоконно-оптических линий связи, лазерных дальномеров, систем горизонтирования и ориентации объектов, систем управления, наведения и навигации, и т.д.

Потребители, заинтересованные в заказах на выполнение опытно-конструкторских и научно-исследовательских работ в области разработки различных чувствительных элементов и МЭМС-датчиков на основании соглашения об аутсорсинге.

Партнеры, заинтересованные в приобретении чувствительных элементов и МЭМС-датчиков в рамках производственного соглашения.