Институт физики имени Б.И. Степанова Национальной академии наук Беларуси предлагает потребителям лазерно-оптические анализаторы дефектов для контроля поверхности полированных пластин из полупроводниковых и диэлектрических материалов на основе производственного соглашения и ищет партнеров для заключения соглашения о дистрибьюторских услугах.

Институт физики имени Б.И. Степанова Национальной академии наук Беларуси предлагает потребителям лазерно-оптические анализаторы дефектов для контроля поверхности полированных структурированных и неструктурированных пластин из полупроводниковых и диэлектрических материалов (кремния, германия, арсенида галлия, сапфира), в том числе с эпитаксиальным слоем, с целью обнаружения локальных дефектов, обусловленных нарушением кристаллической структуры (дефекты роста), наличием посторонних частиц (пыль, резист, растворители) и нарушением целостности технологических слоев (царапины).

Лазерно-оптический анализатор дефектов содержит:
* модуль подсветки;
* сканирующий модуль;
* модули формирования изображения и регистрации субмикронных дефектов;
* блок управления и контроллер управления питанием.

Программное обеспечение анализатора позволяет проводить статистическую обработку результатов измерений с подсчетом количества и анализом типов и размеров дефектов.

Лазерно-оптический анализатор дефектов имеет следующие функции:
* автофокус;
* определение матовости поверхности;
* отображение в темном и светлом поле;
* отображение пластины с различным разрешением;
* автоматический подсчет статистики распределения дефектов по размеру и типу;
* автоматическое сканирование всей пластины в скоростном и пошагово-гнездовом режимах;
* автоматическое сохранение результатов измерения и изображений на диск или сменный носитель;
* автоматическое распознавание типа дефекта (дефект роста, привнесенный дефект, царапина, загрязнение);
* навигация в интерактивном режиме с детальным просмотром участка пластины с высоким разрешением (до 200 нм).

Опции анализатора:
* цифровой микроскоп;
* подсветка светодиодом;
* сменные микрообъективы: 10x, 20x, 50x;
* канал интегральной фотолюминесценции;
* симметричная угловая подсветка лазером;
* до четырёх каналов регистрации рассеянного излучения;
* загрузка и выгрузка пластин – в ручном режиме или из SMIF контейнера;
* поляризационный контраст (подавление рассеяния от шероховатости поверхности).

Регистрируемая информация:
* гистограмма частиц по размеру и типу;
* карта интегральной фотолюминесценции;
* карта матовости поверхности с цветовой кодировкой;
* карта дефектов поверхности с цветовой кодировкой дефектов по размерам и типу;
* изображения участков пластины с разрешением 500 (до 200) нм в темном и светлом поле.

Технические характеристики:


Область применения: контроль поверхности полированных пластин, использующихся для создания микро- и СВЧ-электроники.

Институт физики имени Б.И. Степанова предлагает партнерам:
* изготовление лазерно-оптических анализаторов дефектов для контроля поверхности полированных пластин из полупроводниковых и диэлектрических материалов на основе производственного соглашения;
* лазерно-оптические анализаторы дефектов для контроля поверхности полированных пластин из полупроводниковых и диэлектрических материалов в рамках соглашения о дистрибьюторских услугах.

Каталог разработок и услуг «Институт Физики имени Б.И. Степанова» 2022, стр.28-29.

Каталог «Разработки НАН Беларуси мирового уровня за период 2020-2022 годы», стр.102-104.

Преимуществом созданного лазерно-оптического анализатора дефектов, по сравнению с аналогами, является то, что его программное обеспечение позволяет проводить статистическую обработку результатов измерений не только с подсчетом количества дефектов, но и с построением карты локализации дефектов и анализом типов и размеров дефектов.

Импортозамещение лазерно-оптических анализаторов дефектов компаний:
«MueTec Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH» (Германия);
«KLA Corporation» (США).

Лазерно-оптический анализатор дефектов используется на предприятиях стран СНГ (ОАО «Интеграл» и ЗАО «Светлана-Рост»).

Смирнов, А. Г., Рыжевич, А. А., Агашков, А. В. Действующий макет устройства для детектирования поверхностных и приповерхностных дефектов малых размеров / А. Г. Смирнов, А. А. Рыжевич, А. В. Агашков // Приборостроение-2017: материалы 10-й Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 1–3 нояб. 2017 г. – Минск : БНТУ, 2017. – С. 253–254.

Институт физики имени Б.И.Степанова - это ведущее в Республике Беларусь межотраслевое научно-исследовательское учреждение в области физики. Направлениями научных исследований и разработок Института в настоящее время являются:
* Лазерная физика, разработка и создание лазерных систем и технологий их применения в медицине, экологии, промышленности, метрологии и защите информации;
* Физическая и нелинейная оптика, раскрытие и использование закономерностей распространения мощного лазерного излучения в различных средах;
* Оптическая спектроскопия, развитие и применение методов и приборов исследования свойств и структуры различных материалов, включая биоткани;
* Нанооптика и наноматериалы;
* Квантовая оптика, разработка проблем использования квантовых свойств электромагнитного излучения в информатике и криптографии;
* Исследование строения и свойств атомно-молекулярных структур и создание на их основе новых оптических материалов, систем, приборов и технологий;
* Физика плазмы и плазменные технологии: исследование взаимодействие плазмы с полями и веществом; разработка и применение методов диагностики плазмы; развитие технологических применений газоразрядной и лазерной плазмы;
* Микро- и оптоэлектроника: светодиодная техника, солнечные элементы, СВЧ техника, микроэлектромеханические и сенсорные системы и устройства;
* Физика фундаментальных взаимодействий и ядерных реакций: исследование строения микромира и Вселенной.

Институт физики имени Б.И. Степанова НАН Беларуси имеет научные контакты с большинством развитых стран. В настоящее время заключено более 50 договоров о научно-техническом сотрудничестве с организациями из 15 стран.

Институт разрабатывает, производит и поставляет во многие страны мира (Россия, Китай, Германия, Франция, США, Саудовская Аравия, Индия и др.) лазерные и оптические приборы различного назначения, а также инновационные компоненты для лазерной техники.

Потребители, заинтересованные в приобретении лазерно-оптических анализаторов дефектов для контроля поверхности полированных пластин из полупроводниковых и диэлектрических материалов на основе производственного соглашения.

Партнеры, заинтересованные в приобретении лазерно-оптических анализаторов дефектов для контроля поверхности полированных пластин из полупроводниковых и диэлектрических материалов в рамках соглашения о дистрибьюторских услугах.