Каталог инновационных проектов и разработок

Литейно-деформационная технология изготовления и регенерации катодов-мишеней из сплавов высокочистого алюминия и нового немагнитного сплава Ni-Cr-V

Раздел	ЭЛЕКТРОНИКА. ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Программа	Технология и оборудование машиностроения
Область применения	Радиоэлектронная промышленность. Используется при изготовлении высококачественных заготовок катодов-мишеней для магнетронного распыления.
Описание	Технологический процесс реализуется с привлечением специальных технологических приемов. Для высокочистого алюминия и его сплавов необходимо проведение комплекса операций, включающего вакуумную плавку, заливку в среде нейтрального газа в подогретый кокиль (тигель) с последующей направленной кристаллизацией. Обеспечивается возможность получения отливок различной формы и размеров за счет использования разъемных графитовых кокилей. Отливка по габаритам и конфигурации максимально приближена к готовому изделию, что исключает или максимально сокращает механическую обработку. Технические характеристики: • плотность заготовок 99,9 % • чистота металла не ниже исходного • повышение до 0,9 коэффициента эффективного использования металлов за счет рециклинга.
Научно-технический уровень	Получено 2 патента РБ.
Степень готовности	Технология реально освоена применительно к нуждам электронной промышленности: организовано опытное производство катодов-мишеней из высокочистых металлов и их сплавов (алюминия, никеля, благородных металлов), используемых при металлизации пластин ИМС на установках «Магна – 2М», «Оратория29», «Varian m2i».
Ожидаемый результат	Импортозамещение, существенное повышение производительности распылительного оборудования и эффективности использования катода для формирования барьерного слоя при многослойной металлизации интегральных микросхем.
Форма реализации	Разработка реализуется по прямым договорам с заказчиками.

Организация разработчик

ГНУ «Физико-технический институт НАН Беларуси» (ФТИ НАНБ)
Адрес:	220141, г. Минск, Купревича, 10
Тел.:	(+375 17) 267-59-09
Факс:	(+375 17) 267-76-93
E-mail:	phti@ns.igs.ac.by
WWW:	http://www.phti.belhost.by/
Директор:	Гордиенко Анатолий Илларионович

Разработка сайта: Adashkevich@tut.by