Раздел
|
ЭЛЕКТРОНИКА. ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
|
Программа
|
Технология и оборудование машиностроения
|
Область применения
|
Радиоэлектронная промышленность. Используется при изготовлении высококачественных заготовок катодов-мишеней для магнетронного распыления.
|
Описание
|
Технологический процесс реализуется с привлечением специальных технологических приемов. Для высокочистого алюминия и его сплавов необходимо проведение комплекса операций, включающего вакуумную плавку, заливку в среде нейтрального газа в подогретый кокиль (тигель) с последующей направленной кристаллизацией. Обеспечивается возможность получения отливок различной формы и размеров за счет использования разъемных графитовых кокилей. Отливка по габаритам и конфигурации максимально приближена к готовому изделию, что исключает или максимально сокращает механическую обработку. Технические характеристики: • плотность заготовок 99,9 % • чистота металла не ниже исходного • повышение до 0,9 коэффициента эффективного использования металлов за счет рециклинга.
|
Научно-технический уровень
|
Получено 2 патента РБ.
|
Степень готовности
|
Технология реально освоена применительно к нуждам электронной промышленности: организовано опытное производство катодов-мишеней из высокочистых металлов и их сплавов (алюминия, никеля, благородных металлов), используемых при металлизации пластин ИМС на установках «Магна – 2М», «Оратория29», «Varian m2i».
|
Ожидаемый результат
|
Импортозамещение, существенное повышение производительности распылительного оборудования и эффективности использования катода для формирования барьерного слоя при многослойной металлизации интегральных микросхем.
|
Форма реализации
|
Разработка реализуется по прямым договорам с заказчиками.
|