Электростатический ускоритель ионов ЭСУ-2 Раздел Приборы для научных исследований Отрасль промышленности Медицинская техника Физика твердых тел Материаловедение Технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства Программа Приборы для научных исследований Область применения Применяется при исследовании твердотельных материалов ядерно-физическими методами для повышения монохроматичности ионного пучка, расширения энергетического диапазона и автоматизации процесса управления. Производство изделий микроэлектроники, материаловедение, научные исследования, медицина, контроль загрязнений поверхности твердотельных материалов. Описание Для проведения научных исследований в области физики твердого тела и разработки новых пучковых технологий, производства изделий микроэлектроники. • Диапазон энергий ускоряемых ионов — 0,2—1 мЭв; • тип ускоряемых ионов — oт Н до Ar; • немонохроматичность ионного пучка на выходе из ускорительной трубки — 1,9 %; • ток на выходе ионного источника —120 мкА; • ток ионов Н с энергетическим разбросом < 0,1 % — 38 мкА. Научно-технический уровень Определены основные параметры, определяющие эффективность использования ускорителя, энергетический диапазон ускоренных ионов, их монохроматичность и плотность тока на мишени Снижение себестоимости продукции за счет увеличения выходного тока ускорителя и уменьшения времени имплантации. Получен патент. Отечественных аналогов нет. По сравнению с зарубежными аналогами цена комплекса ниже в 7 раз. Степень готовности Введен в эксплуатацию. Ожидаемый результат Ускоритель ЭСУ-2 позволяет ускорять ионы oт Н до Ar до энергий от 200 до 1000 кэВ при токе на мишени протонного пучка с энергетическим разбросом <0,1 % до 50 мкА. При этом ток на выходе ионного источника достигает 120 мкА. Форма реализации Дополнительные инвестиции требуются для проведения метрологической аттестации ускорителя.Срок окупаемости проекта: 4 года.	Организация разработчик   НИУ «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко», БГУ Адрес: 220064, г. Минск, ул. Курчатова, 7 Тел.: (+375 17) 212-49-06 Факс: (+375 17) 278-04-17 E-mail: paliichuk@.bsu.by WWW: http://www.bsuproduct.by/index.php/.41..0.0.0.html Директор: Чернявский Александр Федорович
Разработка сайта: Adashkevich@tut.by © Государственный комитет по науке и технологиям Республики Беларусь, 2005 г.